氮化钛(TiN)涂层技术分析

　氮化钛涂层是自PVD技术发明以来，较常见的一种涂层，具有较高的性价比，也是之前运用的较广泛的一种PVD涂层,它具有较高的薄膜硬度。

　　用磁控溅射方法沉积的氮化钛沉积速度慢，表面颗粒小所以表面光滑，而且液滴等表面缺限少,但是表面硬度较低。

　　用磁控阴极弧的方法沉积的氮化钛，沉积速度快，但表面颗粒大，所以表面光洁度较差，液滴等表面缺陷也较多，但是可以获得较高的表面硬度。